一种用于匀胶机顶盖的密封圈

摘要

本实用新型涉及匀胶机的配件技术领域，尤其涉及一种用于匀胶机顶盖的密封圈，包括内圈、外圈和卡扣，外圈和内圈相连接，内圈和外圈均为环状，外圈设置在内圈的外周，卡扣设置在外圈上，卡扣包括卡勾和卡孔，卡勾卡合在卡孔中。本实用新型结构简单，对盖上匀胶机的顶盖进行了有效的密封，使得晶片上各个区域膜厚均匀度有了很大的改善，曝光、显影后，复制出的图形线宽更加一致，解决了厚膜的膜厚不均匀的问题，更不会出现条纹，提高了最终产品的质量。

主权项

一种用于匀胶机顶盖的密封圈，其特征在于：包括内圈(1)、外圈(2)和卡扣，所述的外圈(2)和内圈(1)相连接，所述的内圈(1)和外圈(2)均为环状，所述的外圈(2)设置在内圈(1)的外周，所述的卡扣设置在外圈(2)上，所述的卡扣包括卡勾(31)和卡孔(32)，所述的卡勾(31)卡合在卡孔(32)中。