一种射频热疗仪用电极制造方法

摘要

一种射频热疗仪用电极制造方法，它涉及金属铝基电极的制造方法。本发明解决了目前热疗仪用金属电极的电磁场屏蔽技术问题。方法由以下工步组成：电极机加成型‑碱、酸液清洗抛光‑阳极氧化‑形成绝缘层‑电化学镀金属膜‑形成金属屏蔽层‑光刻掩膜‑湿法腐蚀去金属膜‑湿法腐蚀去氧化铝膜‑形成电磁场辐射面‑光刻掩膜‑湿法腐蚀去金属膜‑湿法腐蚀去氧化铝膜‑制作电极引出端‑螺钉连接射频信号线‑焊接屏蔽线‑安装金属屏蔽罩‑形成射频热疗仪用电极。本发明电磁场屏蔽功能金属铝基电极可与射频热疗仪、超声热疗仪、微波热疗仪配合使用，有效减少电极向外辐射的电磁场强度，提高电磁场的屏蔽效果，同时，具有体积小，一体化特点，适于临床应用。

主权项

一种射频热疗仪用电极制造方法，其特征在于所述方法是由以下十七个工步组成：电极机加成型‑碱液、酸液清洗抛光‑阳极氧化‑形成绝缘层‑电化学镀金属膜‑形成金属屏蔽层‑光刻掩膜‑湿法腐蚀去金属膜‑湿法腐蚀去氧化铝膜‑形成电磁场辐射面‑光刻掩膜‑湿法腐蚀去金属膜‑湿法腐蚀去氧化铝膜‑形成电极引出端‑螺钉连接射频信号线‑焊接屏蔽线‑安装金属屏蔽罩，具体实施步骤如下：a、采用金属铝型材，利用机械加工方法加工出金属电极结构；b、利用碱性溶液清洗金属铝电极；c、利用酸性溶液对金属铝电极进行电化学抛光；d、采用铝阳极氧化工艺，对铝电极进行全面阳极氧化，形成绝缘层；e、采用电化学镀膜工艺在铝电极的三氧化二铝绝缘层表面形成金属薄膜屏蔽层；f、采用光刻掩膜工艺，转移电极辐射面图形，湿法腐蚀去金属膜和三氧化二铝膜，形成电极的电磁场辐射面；g、采用光刻掩膜工艺，转移电极辐射面图形，湿法腐蚀去金属膜和三氧化二铝膜，形成电极的引出端；h、在电极的引出端处，用螺钉将射频信号线连接起来，固定好；m、利用焊接工艺，将多芯屏蔽线均匀焊在射频信号线四周的金属屏蔽层上，形成射频热疗仪用具有电磁场屏蔽功能的电极；n、利用机械加工工艺，制造金属屏蔽罩，并安装在屏蔽线外面，用有机螺钉固定在电极之上，使屏蔽罩与屏蔽层金属间接触良好，并具有固定及拉伸强度。