一种硅片高温扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种硅片高温扩散设备，包括扩散炉，所述扩散炉的左侧安装有进气管，所述扩散炉的上方左端安装有控制装置，所述扩散炉的内部左端设置有缓冲隔板，所述缓冲隔板上设置有通孔，所述扩散炉的内部中间安装有石墨舟，所述石墨舟的内部放置有硅片，所述扩散炉的内部上方安装有压力传感器，所述压力传感器通过导线与控制装置电性连接，所述扩散炉的上方通过真空管与真空泵固定连接，所述真空管上安装有电磁阀。该硅片高温扩散设备，提高炉体内不同空间位置的待反应气体成分、密度的均匀性，从而提高硅片掺杂的均匀性，减少太阳电池局部漏电、较大的接触电阻及载流子的复合效率，有效提高了太阳电池的光电转换效率。

主权项

一种硅片高温扩散设备，包括扩散炉（1），所述扩散炉（1）的左侧安装有进气管（2），所述扩散炉（1）的右侧设置有出气管（10），其特征在于：所述扩散炉（1）的上方左端安装有控制装置（12），所述扩散炉（1）的内部左端设置有缓冲隔板（3），所述缓冲隔板（3）上设置有通孔（4），所述扩散炉（1）的内部中间安装有石墨舟（9），所述石墨舟（9）的内部放置有硅片（11），所述扩散炉（1）的内部上方安装有压力传感器（8），所述压力传感器（8）通过导线与控制装置（12）电性连接，所述扩散炉（1）的上方通过真空管（7）与真空泵（5）固定连接，所述真空管（7）上安装有电磁阀（6）。