发明名称 |
塑料基板的有机薄膜晶体管制作方法 |
摘要 |
一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法,主要包括下列步骤:提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构,以该母模对该塑料基板进行压挤成形,以定义出该塑料基板的导电电极位置,并于该塑料基板的导电电极位置形成导电电极,之后,形成一半导体层,形成一绝缘层,形成栅极,最后形成一保护层,其中,该塑料基板可以使用具有侧链末端基为-CH<SUB>3</SUB>或-NH<SUB>2</SUB>的高分子材料作为基板材料,例如:聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、金属茂基环烯烃共聚物(mCOC)等塑料材料。 |
申请公布号 |
CN1734807A |
申请公布日期 |
2006.02.15 |
申请号 |
CN200410058084.0 |
申请日期 |
2004.08.12 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
黄良莹;何家充;李正中 |
分类号 |
H01L51/40(2006.01);H01L51/05(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/40(2006.01) |
代理机构 |
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
孙皓晨 |
主权项 |
1、一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法,其特征在于其步骤包括:(a)提供一母模及一塑料基板,其中该母模具有一凸版结构;(b)以该母模对该塑料基板进行压挤成形,以定义出该塑料基板的导电电极位置;(c)于该塑料基板的导电电极位置形成导电电极。 |
地址 |
中国台湾 |