被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法

摘要

本发明公开了一种被动式MEMS流致振动强化传热装置及其传热方法。通过合理的结构设计，使得在热沉温度升高时，固定在热沉上的悬臂梁结构能够产生远离热沉的偏转运动，并且偏转的角度随着热沉温度的升高而升高。当悬臂梁结构的偏转角增大时，其长度方向与来流速度方向的夹角也相应增大，这使得悬臂梁振动部分的振动更加剧烈，从而对悬臂梁附近的流场产生更大的扰动，破坏了热边界层的形成，最终实现传热的强化。这种强化传热装置不需要人工控制，也不需要外界输入能量，能够自动根据热沉温度调节散热强度，这为解决现代电子器件的高热流密度问题提供了新的途径。

主权项

一种被动式MEMS流致振动强化传热装置，其特征在于：它包括热沉基座（1）、填充材料（2）、梳齿状结构（3）、振动部分（4）；热沉基座（1）与电子器件的发热部分通过导热管相连接，能够吸收电子器件发出的热量，使自身的温度升高；驱动部分由梳齿状结构（3）和填充在齿间的填充材料（2）构成；梳齿状结构（3）连接着热沉基座（1）；振动部分（4）是梳齿状结构（3）顶部薄层的延伸段，与梳齿状结构（3）、填充材料（2）一同构成悬臂梁结构（5）。