| 摘要 |
液体材料の貯留部（５１）から吐出口（５３）に至るまでの流路の全長にわたり気泡の残留を無くすために、気密構造のチャンバー（１０）と、チャンバー（１０）内の圧力を調節する圧力調節部（７０）と、制御装置（１００）と、を備え、負圧供給源（７１）とチャンバー連通管（９０）および吐出装置連通管（９１）を連通してチャンバー（１０）内および貯留容器（５１）の上方にある空間を真空または真空に近い低圧力に減圧して、かつ、一定時間低圧力の状態に維持して液体材料内の気泡を脱気し、貯留容器（５１）の上方にある空間をガス供給口（９３）と連通してガスを流入することでチャンバー（１０）内よりも高圧として貯留容器（５１）内の液体材料を吐出装置（５０）に充填し、貯留容器（５１）の上方にある空間をチャンバー（１０）内と連通して圧力平衡状態とした後、ガス供給口（９２）と連通して圧力開放するよう充填する液体材料充填装置及び方法。 |
