荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の制御方法

摘要

本発明は、反射電子検出素子と試料との間の位置関係や試料周囲の真空状態を認識し、目的の画像を取得するために適した反射電子検出素子を自動的に選択する荷電粒子線装置を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子線装置は、試料室内の真空度が高く試料と反射電子検出器が離れているときは全ての反射電子検出素子を選択し、試料室内の真空度が高く試料と反射電子検出器が接近しているときは組成像または凹凸像を取得するのに適した反射電子検出素子を選択する。試料室内の真空度が低いときは全ての反射電子検出素子を選択する（図７参照）。