| 发明名称 |
Verfahren zur Korrektur von Messdaten eines optischen Messgeräts |
| 摘要 |
Zur Korrektur von Messdaten eines optischen Messgeräts (2) wird eine Intensitätsverteilung von Streulicht (9) im Strahlengang des Messgeräts (2) modelliert. |
| 申请公布号 |
DE102017200427(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.09 |
| 申请号 |
DE201710200427 |
申请日期 |
2017.01.12 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Bol, Johannes;Spreitler, Florian |
| 分类号 |
G01N21/55;G01N21/01;G01N21/47 |
主分类号 |
G01N21/55 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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