衬底冷冻干燥装置和方法

摘要

本发明提供一种用于冷冻干燥衬底的装置。提供了容纳衬底的腔室。用于支撑和静电夹持该衬底的静电夹盘（ESC）位于该腔室之中。温度控制器控制该静电夹盘的温度。冷凝器与该腔室连接。真空泵与该腔室流体连接。

主权项

一种用于冷冻干燥湿衬底的装置，其包括：腔室，其用于容纳所述湿衬底；静电夹盘(ESC)，其用于在该腔室内部支撑和静电夹持该湿衬底；温度控制器，其用于控制该静电夹盘的温度；湿法运送工作台，其用于将所述湿衬底运送到该腔室中并密封该腔室；冷凝器，其连接至该腔室；真空泵，其与该腔室流体连接；以及进一步包括与该腔室连接的等离子体源，其用于向该腔室内部提供等离子体以加热该湿衬底，从而在不融化该湿衬底上的凝固的干燥化学剂的基础上升华该干燥化学剂，并且所述等离子体还与所述湿衬底上的非挥发性残留物反应以移除该非挥发性残留物。