质谱仪用极杆及质谱仪

摘要

本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。

主权项

一种质谱仪用极杆，其特征在于，包括：极杆本体；以及在所述极杆本体上采用真空镀膜工艺形成的膜层。