| 发明名称 | 静电夹头 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电夹头，其特征在于，包括陶瓷基体(2)和设置于陶瓷基体(2)的内部或下表面的吸着用电极(3)，在陶瓷基体(2)的自上表面至吸着用电极(3)的区域中具有锰(Mn)的含量为1×10<sup>‑4</sup>质量％以下的部分。由此，残留吸着的随时间增加得到抑制，因此晶片的脱离变得容易，能够实现被加工物容易脱离的静电夹头。 | ||
| 申请公布号 | CN104067382B | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201280068046.6 | 申请日期 | 2012.06.27 |
| 申请人 | 京瓷株式会社 | 发明人 | 小野浩司 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B23Q3/15(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 樊建中 |
| 主权项 | 一种静电夹头，其特征在于，包括：陶瓷基体，其含有Mn；和吸着用电极，其设置于该陶瓷基体的内部或下表面，在所述陶瓷基体的自上表面至所述吸着用电极的区域中具有Mn的含量小于1×10<sup>‑4</sup>质量％的部分。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||