研磨液防沉淀堵塞管路装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨液防沉淀堵塞管路装置，其包括研磨液桶，研磨液桶的出液口通过管路依次连接过滤器、流量计和研磨机的研磨头，研磨机的出口通过管路连接至研磨液桶的进液口，在研磨液桶的出液口和过滤器之间的管路上设有电磁阀SV‑A，在电磁阀SV‑A和过滤器入口之间还连接有冲洗管路，冲洗管路连接外部供水并且冲洗管路上设有电磁阀SV‑B，在研磨机出口和研磨液桶进液口之间的管路上还连接有回收管路，回收管路连接洗涤水回收装置并且冲洗管路上设有电磁阀SV‑C。本实用新型克服了研磨机在研磨过程中研磨液管路堵塞、沉淀的问题，并具备管路阻塞检测报警功能。

主权项

一种研磨液防沉淀堵塞管路装置，其特征在于：包括研磨液桶（1），研磨液桶（1）的出液口通过管路依次连接过滤器（3）、流量计（4）和研磨机的研磨头（5），研磨机的出口通过管路连接至研磨液桶（1）的进液口，在研磨液桶（1）的出液口和过滤器（3）之间的管路上设有电磁阀SV‑A（2），在电磁阀SV‑A（2）和过滤器（3）入口之间还连接有冲洗管路，冲洗管路连接外部供水（7）并且冲洗管路上设有电磁阀SV‑B（6），在研磨机出口和研磨液桶（1）进液口之间的管路上还连接有回收管路，回收管路连接洗涤水回收装置（9）并且冲洗管路上设有电磁阀SV‑C（8）。