一种基于晶格渐变型二维光子晶体和交叉双横梁结构的压力传感器

摘要

本发明涉及一种利用晶格渐变型的二维光子晶体微腔阵列与双横梁结构实现的量程可扩压力传感器，属于光子晶体传感器技术领域。本发明首次将晶格渐变型的二维光子晶体结构应用于传感阵列的设计中，首次应用多个微腔协作测量一个待测物理量，为高灵敏度、大量程的光子晶体传感阵列提供了条件。本发明通过设计位于不同晶格常数区域的微腔，使三个微腔的谐振频率不同，从而在输出端的透射谱中可获得不同频率的谐振峰。当受力横梁发生形变时，位移横梁上水平高度不同的传感柱依次分别进入上述微腔，使得谐振峰先后依次偏移，实现大量程传感。本发明设计中的传感器阵列具有可扩展性，为量程可扩的光子传感器阵列的实现提供了方法。

主权项

一种基于晶格渐变型光子晶体结构及交叉双横梁结构的可扩量程压力传感器。其中：该光子晶体传感器阵列是基于三维光子晶体的晶格渐变型空气孔三角晶格结构。交叉双横梁结构包括了两块相互垂直的硅横梁，其中一块横梁上集成有3个高度等差的硅传感柱。