靶组件

摘要

本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时可靠地防止结合靶和背板的粘接材料向外部渗出。背板(22)具有比靶(21)的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)。环状的屏蔽板(4)与延伸部分相对配置，以便在将靶组件(2)安装在溅射装置(SM)上时围住靶。以背板上结合有靶的部分作为接合部分(22b)，该接合部分相对于延伸部分凸出设置。使从延伸部分到接合部分的侧面的外表面都粗糙化。从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜(23)。

主权项

一种靶组件，是具有绝缘材料制成的靶和通过粘接材料结合在该靶的一面上的背板的靶组件，其特征在于：背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分，环状的屏蔽板与延伸部分相对配置，以便在将靶组件安装在溅射装置上的状态下围住靶；以背板上结合有靶的部分作为接合部分，该接合部分相对于延伸部分凸出设置，使从延伸部分到接合部分的侧面的外表面都粗糙化，从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜。