发明名称 三轴加速度传感器
摘要 本发明涉及一种加速度传感器,尤其是三轴加速度传感器,该加速度传感器包括基底和第一质量元件,该第一质量元件如此地与基底连接,使得第一质量元件能绕一轴线旋转,其中,第一质量元件如此地与第二质量元件连接,使得该第二质量元件能沿着平行于所述轴线的第一方向运动,并且第一质量元件如此地与第三质量元件连接,使得该第三质量元件能沿着垂直于所述轴线的第二方向运动。
申请公布号 CN101639487B 申请公布日期 2017.04.19
申请号 CN200910165402.6 申请日期 2009.07.30
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 J·克拉森;L·特夫耶
分类号 G01P15/18(2013.01)I;B81B7/02(2006.01)I 主分类号 G01P15/18(2013.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 一种加速度传感器(300,400),具有基底(322,422)和第一质量元件(302,402),该第一质量元件如此地与基底(322,422)连接,使得第一质量元件(302,402)能绕一轴线旋转,其中,第一质量元件(302,402)如此地与第二质量元件(304,404)连接,使得第二质量元件(304,404)能沿着平行于所述轴线的第一方向运动,第一质量元件(302,402)如此地与第三质量元件(305,405)连接,使得第三质量元件(305,405)能沿着垂直于所述轴线的第二方向运动,其中,第一质量元件(302,402)具有包括三个在第二方向上并排的面积区段的框架(313,413)并且仅仅通过所述轴线在中间的第一面积区段中与基底(322,422)相连接,所述轴线由两个扭转弹簧(308,408)构成,第二质量元件(304,404)位于第二面积区段中并且通过至少一个能在第一方向上延展的弯曲弹簧(307,407)与所述框架(313,413)连接,第三质量元件(305,405)位于第三面积区段中并且通过至少一个能在第二方向上延展的弯曲弹簧(306,406)与所述框架(313,413)连接。
地址 德国斯图加特