在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置

摘要

本实用新型公开了一种在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准仪和辐照能量在线测试仪，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试仪设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准仪设置于在线测试仪与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试仪。本实用新型的测试装置可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。

主权项

一种在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，所述测试腔室容纳有样品调节台、光斑探测器、能量校准仪和辐照能量在线测试仪，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试仪设置在所述样品调节台之前的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，所述能量校准仪设置于辐照能量在线测试仪与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试仪。