手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置

摘要

本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：至少2个手指单元；至少2个调节杆，调节杆的一端与手指单元转动连接，调节杆（的另一端与第一滑块转动连接；第一滑块沿第一导轨运动，第一导轨沿手指单元的机械手指方向设置；手指单元的侧边设有第二导轨，第二导轨沿竖直方向设置，手指单元通过第二滑块沿第二导轨运动；第一滑块沿第一导轨运动，驱动调节杆转动呈收缩或放开状态，带动手指单元沿第二导轨做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。

主权项

一种手指间距可调的机械手，其特征在于，所述机械手包括：手指单元(10)设有5个，在竖直方向上从上往下分别为：第一手指单元(101)、第二手指单元(102)、第三手指单元(103)、第四手指单元(104)和第五手指单元(105)；每一手指单元(10)设有一机械手指(11)；调节杆(20)设有4个，所述调节杆(20)的一端与手指单元(10)转动连接；第一滑块(30)，所述调节杆(20)的另一端与第一滑块(30)转动连接；第一导轨(40)，所述第一滑块(30)沿第一导轨(40)运动，第一导轨(40)沿手指单元(10)的机械手指(11)方向设置；所述手指单元(10)的侧边设有第二导轨(60)，所述第二导轨(60)沿竖直方向设置且与第一导轨(40)垂直，手指单元(10)的侧边固定有第二滑块(50)，手指单元(10)通过第二滑块(50)沿第二导轨(60)运动；所述第一滑块(30)沿第一导轨(40)运动，驱动调节杆(20)转动呈收缩或放开状态，带动手指单元(10)沿第二导轨(60)做上下运动；在所述手指单元(10)的一侧设置一套第一滑块(30)和第一导轨(40)，相应地在所述手指单元(10)的一侧设置一套第二滑块(50)和第二导轨(60)；或者在所述手指单元(10)的两侧各设置一套第一滑块(30)和第一导轨(40)，相应地在所述手指单元(10)的两侧各设置一套第二滑块(50)和第二导轨(60)；所述机械手还包括一外壳，所述第三手指单元(103)与外壳固定连接；所述4个调节杆(20)分别与第一手指单元(101)、第二手指单元(102)、第四手指单元(104)和第五手指单元(105)连接，第三手指单元(103)未连接有调节杆(20)；所述第二导轨(60)固定设置于外壳上，所述第一手指单元(101)、第二手指单元(102)、第四手指单元(104)和第五手指单元(105)分别通过第二滑块(50)沿第二导轨(60)运动；所述调节杆(20)的类型包括弯杆(21)和直杆(22)；与所述第一手指单元(101)和第五手指单元(105)连接的调节杆(20)为弯杆(21)，与所述第二手指单元(102)和第四手指单元(104)连接的调节杆(20)为直杆(22)；每对弯杆(21)和每对直杆(22)的另一端通过一连接座(70)相连，连接座(70)固定于第一滑块(30)上，使调节杆(20)的另一端与第一滑块(30)转动连接。