定位装置

摘要

本发明提供一种定位装置，测定基台（2）、支承部件（5）以及支承部件（6）的温度，并计算由规定温度与基准温度之间的温差引起的基台（2）、支承部件（5）以及支承部件（6）的伸缩量。测定滚珠丝杠（7）相对于支承部件（6）的伸缩量。根据以上的伸缩量的总和来计算滚珠丝杠的导程的伸缩量，并相对于基准温度时的滚珠丝杠的旋转量，来调整规定温度时的与导程的伸缩量对应的滚珠丝杠的旋转量。

主权项

一种定位装置，该定位装置具备：基台；可动体，该可动体被支承为能够相对于所述基台向规定的轴向往复移动；滚珠丝杠，该滚珠丝杠卡合于所述可动体并使所述可动体往复移动；驱动马达，该驱动马达卡合于所述滚珠丝杠的第一端并传递旋转动力使所述滚珠丝杠旋转；第一支承单元，该第一支承单元固定于所述基台的第一固定位置，并在从所述第一固定位置离开规定的轴向距离的第一基准位置处将所述滚珠丝杠的所述第一端的附近支承为能够旋转且不能沿轴向移动；第二支承单元，该第二支承单元固定于所述基台的第二固定位置，并将所述滚珠丝杠的第二端支承为能够旋转且能够沿轴向移动；距离检测单元，该距离检测单元相对于所述第二端的端面在所述滚珠丝杠的轴向上离开任意的距离，并且在从所述第二固定位置离开规定的轴向距离的第二基准位置处固定于所述第二支承单元，并能够检测从该距离检测单元到所述端面为止的距离；温度检测单元，该温度检测单元能够检测所述基台、所述第一支承单元以及所述第二支承单元的温度；以及控制单元，该控制单元控制所述驱动马达，所述定位装置的特征在于，在所述控制单元中，存储有：基台基准长度，该基台基准长度是基准温度时的所述基台在所述第一固定位置与所述第二固定位置之间的长度；第一支承单元基准长度，该第一支承单元基准长度是基准温度时的所述第一支承单元在所述第一固定位置与所述第一基准位置之间的长度；第二支承单元基准长度，该第二支承单元基准长度是基准温度时的所述第二支承单元在所述第二固定位置与所述第二基准位置之间的长度；以及滚珠丝杠基准长度，该滚珠丝杠基准长度是所述基准温度测定时的从所述第一基准位置到所述滚珠丝杠的所述端面为止的长度，所述控制单元基于所述基台基准长度的伸缩量、所述第一支承单元基准长度的伸缩量、所述第二支承单元基准长度的伸缩量以及检测距离来求出从所述第一基准位置到所述端面为止的长度即滚珠丝杠实际长度，基于所述滚珠丝杠实际长度和所述滚珠丝杠基准长度来修正所述驱动马达的控制量，其中，所述基台基准长度的伸缩量基于所述基台基准长度和由所述温度检测单元检测出的所述基台的检测温度通过运算而求出，所述第一支承单元基准长度的伸缩量基于所述第一支承单元基准长度和由所述温度检测单元检测出的所述第一支承单元的检测温度通过运算而求出，所述第二支承单元基准长度的伸缩量基于所述第二支承单元基准长度和由所述温度检测单元检测出的所述第二支承单元的检测温度通过运算而求出，检测距离由所述距离检测单元检测出。