一种提供加速度计量的方法、装置和系统

摘要

本发明提供测量加速度的技术和机制。在一个实施例中，一个微机电加速计包括磁体、质量块和用于悬挂质量块的第一支撑梁部分和第二支撑梁部分。基于磁体和第一支撑梁部分和第二支撑梁部分传导的电流，第一支撑梁部分和第二支撑梁部分的谐振频率特性指示了质量块的加速度。在另一实施例中，微机电加速计进一步包括第一导线部分和第二导线部分。第一导线部分和第二导线部分均耦合到质量块，并进一步耦合到各自的锚，以用于第一导线部分和第二导线部分间的信号交换。第一导线部分和第二导线部分提供了质量块的偏移。

主权项

一种用于提供加速度计量的装置，包括：微机电加速计，包括：质量块；产生磁场的第一磁体；第一支撑梁部分和第二支撑梁部分，每一个传导随时间变化的信号，该信号沿第一维度穿过磁场，其中随时间变化的信号的谐振频率基于该磁场，其中质量块悬挂于第一支撑梁部分和第二支撑梁部分；耦合到质量块并灵活耦合到第一锚的第一导线部分；和耦合到质量块并灵活耦合到第二锚的第二导线部分，其中第一锚和第二锚通过第一导线部分和第二导线部分交换第一信号，其中基于第一信号和磁场，第一导线部分和第二导线部分在质量块上产生沿着垂直于第一维度的第二维度方向的作用力。