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Ein Wafer-Träger umfasst eine erste Folie, eine zweite Folie und eine Kammer zwischen der ersten Folie und der zweiten Folie. Die erste Folie weist eine Perforation auf und wird zum Tragen des Wafers verwendet. Die erste und die zweite Folie sind miteinander verbunden, um die Kammer zu bilden. Die Kammer ist konfiguriert, um evakuiert zu werden, um ein Vakuum in der Kammer zu bilden, wobei das Vakuum einen Unterdruck an der Perforation verursacht, wobei der Unterdruck eine Tragkraft für den Wafer, der getragen werden soll, bildet. |
