OPTICAL FILTER MATERIAL CONSISTING OF DOPED QUARTZ GLASS, AND UV LAMP CONTAINING THE FILTER MATERIAL

摘要

Es ist ein Filtermaterial aus Quarzglas bekannt, das mit Titanoxid oder Galliumoxid dotiert ist. Die Kantenwellenlänge » c liegt dabei im Wellenlängenbereich von 230 bis 250 nm. Diese Materialien sind als Filtermaterial für eine Arbeitsstrahlung mit einer Wellenlänge von weniger als 230 nm daher ungeeignet. Um davon ausgehend ein Filtermaterial aus dotiertem Quarzglas anzugeben, das eine möglichst hohe Transparenz für Arbeitsstrahlung im ultravioletten Spektralbereich oberhalb von 210 nm bei gleichzeitig geringer Transparenz im Wellenlängenbereich unterhalb von etwa 190 nm bewirken soll, wir erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Quarzglas zu mindestens 99 Gew.-% aus SiO 2 und Al 2 O 3 besteht, wobei der Al 2 O 3 -Anteil im Bereich von 1,5 bis 6 Gew.-% liegt.