基于脉冲激光器的反射式数字全息显微成像系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于脉冲激光器的反射式数字全息显微成像系统及方法，该系统包括光学成像子系统和用于控制光学成像子系统工作的同步控制子系统，光学成像子系统包括依次设置的脉冲激光器、激光衰减器、转向装置、光束传递装置和全息成像装置；同步控制子系统包括工控主机和同步控制器；该方法包括步骤：一、搭建全息显微成像系统；二、脉冲激光器与数字相机的同步控制；三、获取全息图数据；四、试样表面三维形貌全息图像显示。本发明设计新颖，通过对脉冲激光器和数字相机的同步控制，获取高频微振动试样全息图，利用四个分束镜完成光路干涉，避免了光路中由自身部件引起反射杂散光进入全息图，全息图质量高。

主权项

基于脉冲激光器的反射式数字全息显微成像系统，其特征在于：包括光学成像子系统和用于控制所述光学成像子系统工作的同步控制子系统，所述光学成像子系统包括依次设置的脉冲激光器(1)、激光衰减器、转向装置、光束传递装置和全息成像装置，所述全息成像装置包括第一分束镜(8)、设置在第一分束镜(8)物光光路上的第二分束镜(9)和设置在第一分束镜(8)参考光光路上的第三分束镜(13)，物光经过第二分束镜(9)和显微物镜(10)照射在高频微振动的固体试样(11)上，试样(11)安装在试样固定台(12)上，参考光经过第三分束镜(13)照射在与参考光光束相垂直设置的第一反射镜(14)上，试样(11)上反射回第二分束镜(9)的物光与第一反射镜(14)上反射回第三分束镜(13)的参考光经第四分束镜(15)合束进行干涉形成全息图，第四分束镜(15)合束的光路上设置有用于采集所述全息图的数字相机(16)；所述同步控制子系统包括工控主机(18)和与工控主机(18)输出端相接的同步控制器(17)，数字相机(16)的输入端和脉冲激光器(1)的输入端均与同步控制器(17)的输出端相接，数字相机(16)的输出端与工控主机(18)的输入端相接。