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发明名称
吸引保持パッド
摘要
【課題】Oリングの脱落を防止すること。【解決手段】吸着保持パッド(2)は、第1のOリング(3)と、第1のOリングの外径より大きい内径を有する第2のOリング(4)と、第1のOリングと第2のOリングとを中心を一致させて装着する環状溝(21)を備え第1のOリングと第2のOリングとを円弧に表出させるプレート(20)と、を備える。環状溝には、第1、第2のOリングを装着した後の環状溝を埋めるように環状プレート(24)が装着される。【選択図】図5
申请公布号
JP2017056513(A)
申请公布日期
2017.03.23
申请号
JP20150182951
申请日期
2015.09.16
申请人
株式会社ディスコ
发明人
伊藤 太一
分类号
B24B41/06;B65G49/07;H01L21/304;H01L21/677
主分类号
B24B41/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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