形状測定装置、形状測定方法、およびガラス板の製造方法

摘要

測定装置は、透明な被測定物の表面および裏面での、所定のパターンの反射像を撮影する撮像部と、撮像部が撮影した反射像を用いて、表面または裏面の厚み方向の位置を算出する演算部とを具備する。所定のパターンは、複数の要素を含み、該複数の要素の各要素は、該パターンの延在方向と垂直な方向に形成される一端と他端が、該延在方向に互いにずれている。