| 摘要 |
【課題】撮像主体が移動しながら対象物を撮像する場合、または、移動している対象物を撮像する場合、レンズから受光部までの距離を変化させる速度が移動速度に追従できない場合がある。【解決手段】物体の表面を検査する検査装置であって、光源を有しており、物体に光を照射する発光部と、物体からの光を受光する受光部とを備え、受光部は、焦点を有するレンズを介さずに、物体の異なる位置からの反射光を受光する少なくとも１つの受光素子と、位置毎の光受信信号に基づいて画像データを生成する変換部とを有する、検査装置を提供する。【選択図】図２ |
