| 摘要 |
【課題】セクターパターンピッチに起因する内挿誤差及びロータリトランスとの干渉誤差を低減し、高精度な位置検出を実現するとともに、製造時の作業工数を低減するロータリ形スケールを提供する。【解決手段】ステータ１０に配設された複数のステータ側コイル１１，１２と、ステータ１０に平行に向かい合うロータ３０に配設されたロータ側コイル１３とを備えるロータリ形スケールであって、複数のステータ側コイル１１，１２を１ピッチずつ交互に配設し、各パターンピッチは、それぞれロータ側コイル１３のパターンピッチの２／３の長さとする、ロータリ形スケールを用いることで、セクターパターンピッチに起因する内挿誤差、及び、ロータリトランスとの干渉誤差を低減し、高精度な位置検出を実現するとともに、製造時の作業工数を低減することができる。【選択図】図７ |
