发明名称 一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机
摘要 一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机。解决了现有曝光机不能在线检测菲林涨缩的问题。它包括工作平台、控制系统和成像模块,所述的工作平台包括与工件相贴合的菲林和与菲林相贴合的玻璃,所述的成像模块用于采集菲林的位置标识与玻璃的定位标记之间的位置偏差信号并输入到控制系统,所述的控制系统包括比较模块和预警模块,所述的比较模块用于接收菲林工作后位置偏差信号与菲林原始的位置偏差信号进行比较并将比较结果输出给预警模块,所述的预警模块用于位置偏差信号超过设定值时起到预警。本实用新型实现了工作中菲林的在线检测,不需要拆卸工作平台就能可靠的准确的检测菲林的涨缩情况,降低了产品的废品率。
申请公布号 CN206039147U 申请公布日期 2017.03.22
申请号 CN201621073278.2 申请日期 2016.09.23
申请人 浙江欧视达科技有限公司 发明人 张方德;管敏剑
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237 代理人 夏曙光
主权项 一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机,包括工作平台、控制系统和成像模块,其特征在于:所述的工作平台包括与工件相贴合的菲林和与菲林相贴合的玻璃,所述的玻璃上设有多个定位标记,所述的菲林上设有与定位标记相适配的位置标识,所述的成像模块用于采集菲林位置标识与定位标记之间的位置偏差信号并输入到控制系统,所述的控制系统包括比较模块和预警模块,所述的比较模块用于接收菲林工作后位置偏差信号与菲林原始的位置偏差信号进行比较并将比较结果输出给预警模块,所述的预警模块用于位置偏差信号超过设定值时起到预警。
地址 325000 浙江省温州市高新技术产业园区10号小区(三期标准厂房)G-502室
您可能感兴趣的专利