用于以激光辐射加工工件的方法和设备

摘要

本发明涉及一种用于以激光辐射加工工件(110)的方法，特别是用于激光烧蚀。提供至少一个激光束(130)，所述激光束借助于至少一个可变的射束成形装置(132)影响。所述激光束(130)接着射在所述工件(110)的至少一个加工面(112)上。借助于所述射束成形装置(132)给所述激光束(130)在所述加工面(112)的位置上施加至少一个预给定的可调节的射束轮廓(116，118，120)。

主权项

一种用于以激光辐射加工工件(110)的方法，其中，提供至少一个激光束(130)，所述激光束(130)借助于至少一个能够变化的射束成形装置(132)来影响，所述激光束(130)接着射在所述工件(110)的至少一个加工面(112)上，借助于所述射束成形装置(132)给所述激光束(130)在所述加工面(112)的位置上施加至少一个预给定的能够调节的射束轮廓(116，118，120)，其特征在于，所述方法被如此执行，使得照射区域和非照射区域的至少两个不同的图样依次产生并且当在两个不同图样之间的变换时在不同图样的照射区域中的积分通量保持基本不变，其中，所述射束成形装置(132)具有变化元件(140)的矩阵(138)，其中，所述变化元件(140)设置用于使所述激光束(130)射到所述变化元件(140)上的组成部分在其相位和/或振幅和/或偏振方面变化。