发明名称 一种刀具表面CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层及其制备方法
摘要 本发明公开了一种刀具表面CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层及其制备方法,包括如下步骤:1)对刀具的表面进行清洁;2)在刀具的表面溅射CrN涂层,靶材为CrN合金;3)在溅射有CrN涂层的刀具表面溅射CrAlSiN涂层,靶材为CrAlSiN合金,溅射环境为氩气环境。本发明通过在硬质合金刀具表面溅射CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层,使刀具材料与CrN过渡层和CrAlSiN涂层材料紧密的结合在一起,有效地防止了涂层刀具使用过程中的脱落问题,延长了涂层刀具的使用寿命。
申请公布号 CN106521413A 申请公布日期 2017.03.22
申请号 CN201611020958.2 申请日期 2016.11.15
申请人 山东大学 发明人 张磊;周洋;张锡健
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人 张晓鹏
主权项 一种刀具表面CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:1)对刀具的表面进行清洁;2)在刀具的表面溅射CrN涂层,靶材为CrN合金;3)在溅射有CrN涂层的刀具表面溅射CrAlSiN涂层,靶材为CrAlSiN合金,溅射环境为氩气环境。
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