| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Massenspektrometrievorrichtung, die eine sehr robuste, sehr empfindliche und rauscharme Analyse ausführen kann. Die vorliegende Erfindung adressiert die Probleme des Verhinderns von Verringerungen der Ionenübertragungseffizienz und des Unterdrückens der Einbringung von Rauschkomponenten von Tröpfchen usw. Die vorliegende Erfindung umfasst eine Ionenquelle, die Ionen erzeugt, eine Vakuumkammer, die durch ein Evakuierungsmittel evakuiert wird und dem Analysieren der Masse von Ionen dient, und eine Ioneneinbringungselektrode (12), welche Ionen in die Vakuumkammer einbringt. Die vorliegende Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Ioneneinbringungselektrode (12) eine ionenquellenseitige Pore (35) der vorderen Stufe, eine vakuumkammerseitige Pore (36) der hinteren Stufe und eine Zwischendruckkammer (33), die sich zwischen der Pore (35) der vorderen Stufe und der Pore (36) der hinteren Stufe befindet, umfasst, dass die Querschnittsfläche eines Ioneneinlasses der Zwischendruckkammer (33) größer ist als die Querschnittsfläche der Pore (35) der vorderen Stufe, dass die Position der Mittelachse der Pore (35) der vorderen Stufe und die Position der Mittelachse der Pore (36) der hinteren Stufe exzentrisch sind und dass die Querschnittsfläche eines Ionenauslasses der Zwischendruckkammer (33) kleiner ist als die Querschnittsfläche des Ioneneinlasses. |
