高保存安定性を有するアルカリ溶解現像性の高屈折率膜形成組成物及びパターン形成方法

摘要

【課題】高い（長期間の）保存安定性、高屈折率、高透明性、高耐熱性、高耐光性、高硬度の膜を形成するための膜形成組成物の提供。【解決手段】式（ａ１），式（ａ２）とを含む加水分解性シランを非アルコール溶剤中で加水分解し縮合して得られる重量平均分子量７００〜４０００のケイ素化合物（Ａ）、１〜１００ｎｍの平均粒子径と１．５０〜２．７０の屈折率を有する無機粒子（Ｂ）、硬化触媒（Ｃ）、水（Ｄ）、酸（Ｅ）、及び溶剤（Ｆ）を含む膜形成組成物であって、水（Ｄ）が、水（Ｄ）と溶剤（Ｆ）を含む全溶剤中に６〜１８重量％の割合で含有し、膜形成組成物のｐＨが３〜５の範囲に調製されるように酸（Ｅ）を添加した膜形成組成物。【選択図】図１