洗浄装置および洗浄方法

摘要

【課題】低コスト化が実現する洗浄装置および洗浄方法を提供する。【解決手段】実施形態の洗浄装置は、洗浄対象物を保持する洗浄処理部と、前記洗浄対象物に、無機酸溶液を供給する無機酸供給部と、前記洗浄対象物に、酸化性溶液を供給する酸化性溶液供給部と、前記洗浄処理部から回収された前記無機酸溶液と、前記洗浄処理部から回収された前記酸化性溶液と、を含む混合廃液を、前記無機酸供給部に戻す混合廃液供給部と、を備える。【選択図】図１