| 摘要 |
【課題】厚みのある被検査物に対しても空間分解能を劣化させることなく時間遅延積分による検出を行うことができるようにする。【解決手段】Ｘ線検査装置を、Ｘ線を発生するＸ線源と、試料を搬送する搬送部と、Ｘ線源で発生して搬送部で搬送されている試料を透過したＸ線を検出する時間遅延積分型の検出器を備えた検出部と、検出部の時間遅延積分型の検出器で試料を透過したＸ線を検出して得た信号を処理して試料中の欠陥を判定する欠陥判定部とを備えて構成し、搬送部は、試料が検出部の時間遅延積分型の検出器の前を通過するときに搬送と同期させて試料を回転させながら搬送するようにした。【選択図】 図１ |
