发明名称 一种电磁真空退火炉
摘要 本发明公开了一种电磁真空退火炉,包括真空腔体及位于真空腔体内的样品架,还包括位于所述真空腔体内的隔热屏、至少一组红外灯管组件和两块用于产生磁场的磁极,所述样品架和所述红外灯管组件位于所述隔热屏内,两块所述磁极位于所述隔热屏外且对称布置于所述样品架两侧,本发明具有升降温速率快、污染小、加热过程不影响腔体内磁场分布等优点。
申请公布号 CN106498129A 申请公布日期 2017.03.15
申请号 CN201610852538.4 申请日期 2016.09.26
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 胡凡;陈特超
分类号 C21D1/04(2006.01)I;C21D1/773(2006.01)I;C21D9/00(2006.01)I 主分类号 C21D1/04(2006.01)I
代理机构 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人 周长清;徐好
主权项 一种电磁真空退火炉,包括真空腔体(1)及位于真空腔体(1)内的样品架(2),其特征在于:还包括位于所述真空腔体(1)内的隔热屏(3)、至少一组红外灯管组件(4)和两块用于产生磁场的磁极(5),所述样品架(2)和所述红外灯管组件(4)位于所述隔热屏(3)内,两块所述磁极(5)位于所述隔热屏(3)外且对称布置于所述样品架(2)两侧。
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