发明名称 大口径光学元件干涉机械自动化检测辅助设备
摘要 一种大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备,包括设置有导轨的液压驱动的升降平台、起吊传送机构、设置有导轨的静置工位平台、光学元件检测姿态调整平台、控制系统、信号采集系统等。本发明实现了大口径光学元件干涉检测的机械化及自动化,实现了提高环境稳定性、检测精度、检测效率、人员利用率与测量过程中的安全性的目的,更能有标志性的评价加工水平,为加工精度的进一步提高提供指导意义。
申请公布号 CN106500966A 申请公布日期 2017.03.15
申请号 CN201610912549.7 申请日期 2016.10.20
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 邵建达;刘世杰;白云波;吴福林;周游;徐天柱;鲁棋;张志刚
分类号 G01M11/02(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯;张宁展
主权项 一种大口径光学元件干涉机械自动化检测辅助设备,其特征在,包括具有导轨的液压驱动的升降平台(1)、起吊传送机构(2)、设置有导轨的静置工位平台(3)、光学元件检测姿态调整平台(4)、控制系统(5)、信号采集系统(6)、承载大口径光学元件(13)的夹具(7);在所述的静置工位平台(3)上设置有多个静置工位(14),在每个静置工位(14)上设有压力传感器(15)和静置工位导轨(24),所述的升降平台(1)提供所述的夹具(7)升降,当夹具(7)到达静置工位(14)高度时,滑过静置工位导轨(24)使夹具(7)移动到所述静置工位(14)上,所述的压力传感器(15)与信号采集系统(6)相连并实时监测该静置工位(14)是否有光学元件;所述的控制系统(5)分别与所述的起吊传送机构(2)、光学元件检测姿态调整平台(4)和信号采集系统(6)相连;所述的控制系统(5)控制起吊传送机构(2)将夹具(7)在静置工位平台(3)与光学元件检测姿态调整平台(4)之间传动;在所述的光学元件检测姿态调整平台(4)上设置水平旋转机构(17)和检测调整平台直线驱动马达(18),所述的控制系统(5)驱动水平旋转机构(17)使夹具(7)旋转,控制系统(5)驱动检测调整平台直线驱动马达(18)使夹具(7)水平平移。
地址 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱