发明名称 一种石英抛光灯
摘要 一种石英抛光灯属于加工设备技术领域,尤其涉及一种石英抛光灯的改进。本实用新型提供一种绕少充分且效率高的一种石英抛光灯。一种石英抛光灯,其特征在于:包括氢气管、氧气管、灯外套管和均流小管,灯外套管由上端的氢气腔和下端的氧气腔构成,氢气管与氢气腔相连,氧气管与氧气腔相连;在氧气腔内均布有数个均流小管,在均流小管下端设有整流筛片。
申请公布号 CN205999274U 申请公布日期 2017.03.08
申请号 CN201620996865.2 申请日期 2016.08.31
申请人 沈阳汉科半导体材料有限公司 发明人 李来斌
分类号 C03B29/00(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I 主分类号 C03B29/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种石英抛光灯,其特征在于:包括氢气管(1)、氧气管(2)、灯外套管(4)和均流小管(6),灯外套管(4)由上端的氢气腔(3)和下端的氧气腔(5)构成,氢气管(1)与氢气腔(5)相连,氧气管(2)与氧气腔(5)相连;在氧气腔(5)内均布有数个均流小管(6),在均流小管(6)下端设有整流筛片(7)。
地址 110000 辽宁省沈阳市经济技术开发区昆明湖街20号