| 摘要 |
流量制御部が、センサモデル記憶部と、流量設定値を入力した場合に前記センサモデルが出力する流量値である流量模擬値を出力する流量模擬値出力部と、流量測定値及び流量模擬値の偏差に基づいて、流量フィードバック値を出力するフィードバック制御部と、流量設定値から算出される流量フィードフォワード値及び流量フィードバック値に基づいて、前記バルブに印加するバルブ印加電圧を制御するバルブ制御部と、から構成されており、前記流量模擬値出力部が流量設定値に対して所定の時間遅れを有した状態で流量模擬値を出力するように構成した。 |
