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发明名称
ガスバリア性フィルムの製造方法
摘要
【課題】ガスバリア性フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】基材上に、少なくとも珪素原子および炭素原子を含有するガスバリア層を蒸着法により形成した後に、波長が250nm未満の紫外光照射を行うことを含む、ガスバリア性フィルムの製造方法。【選択図】なし
申请公布号
JPWO2015029795(A1)
申请公布日期
2017.03.02
申请号
JP20150534138
申请日期
2014.08.14
申请人
コニカミノルタ株式会社
发明人
近藤 麻衣子
分类号
C23C16/56;B32B9/00;C23C16/509;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04
主分类号
C23C16/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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