| 摘要 |
【課題】平滑度の高い主面に良好な膜質の反射膜を備え、かつハンドリング性が良好な光学部材を高精度で、かつ簡便な方法にて製造する方法及びその光学部材を備えた半導体レーザ装置を提供することを目的とする。【解決手段】｛１１０｝面からなり、互いに平行な第１及び第２主面１１ａ、１１ｃを有するシリコン基板１１を準備し、第１主面及び第２主面１１ａ、１１ｃに、一方向に伸びる開口１２ａを有するマスクパターン１２を、第１及び第２主面１１ａ、１１ｃ側の開口１２ａが交互に位置するように又は第１及び第２主面１１ａ、１１ｃ側の開口１２ａが一致するようにそれぞれ形成し、シリコン基板１１を、マスクパターン１２をマスクとして用いてウェットエッチングして、第１主面側及び第２主面側に傾斜面１１ｂを有する凹部を形成し、第１又は第２主面に反射膜１３を形成することを含む光学部材の製造方法。【選択図】図１ |
