| 摘要 |
濁度度Ｔｈ（８０）が、１．０以上、４．６ＮＴＵ以下であり、濁度Ｔｍ（８０）が、１．０以上、３．８ＮＴＵ以下である、リソグラフィー用共重合体であって、この濁度度Ｔｈ（８０）は、リソグラフィー用共重合体の含有量がＰＧＭＥＡ溶液の総質量に対して２０ｗｔ％であるこのＰＧＭＥＡ溶液に、ｎ−ヘプタンを添加した際の濁度が１０ＮＴＵになるｎ−ヘプタン添加量を（Ｘ）ｈとし、この（Ｘ）ｈの８０％の量のｎ−ヘプタンをこのＰＧＭＥＡ溶液に添加した際の、このＰＧＭＥＡ溶液の濁度であり；この濁度Ｔｍは、このリソグラフィー用共重合体の含有量がＰＧＭＥＡ溶液の総質量に対して２０ｗｔ％であるＰＧＭＥＡ溶液に、メタノールを添加した際の濁度が５．０ＮＴＵになるメタノール添加量を（Ｘ）ｍとし、この（Ｘ）ｍの８０％の量のメタノールを、このＰＧＭＥＡ溶液に添加した際の、このＰＧＭＥＡ溶液の濁度である。 |
