研磨パッド及びその製造方法

摘要

樹脂からなるシートを備える研磨パッドであって、所定の研磨試験を経た後の前記シートの研磨面が、−２．００以上、−０．２０以下の粗さ曲線のスキューネスＲｓｋを有し、かつ、０．５％以上、２．５％以下の高さ分布変動係数を有する、研磨パッド。