Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel und Beleuchtungsvorrichtung mit einer Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft eine Schwenkvorrichtung, insbesondere eine Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel. Ein fester Basisrahmen ist dabei direkt oder indirekt über einen Zwischenrahmen mit einem schwenkbaren Trägerelement verbunden. Zwischen Basisrahmen und Trägerelement bzw. Basisrahmen und Zwischenrahmen sowie Zwischenrahmen und Trägerelement sind dabei jeweils Federelemente mit Biegefedern angeordnet. Die Verwendung von Biegefedern ermöglicht dabei eine gute thermische Kopplung zwischen den einzelnen Bauelementen sowie eine Steigerung der Robustheit. Die Schwenkvorrichtung kann dabei insbesondere als mikroelektromechanisches System ausgeführt werden.