| 摘要 |
【課題】回折光による光のスポットの歪みを効果的に抑制する。【解決手段】レンズアレイ１０５が、被検光を分割した光を集光して複数の光のスポットを形成する複数のレンズ１０９を備えている。各レンズ１０９が、レンズ部材１１１と、レンズ部材１１１の周縁部１１１Ａを含む内側の領域に対応して設けられ、光の一部が透過する遮光マスク１２１と、を有している。各レンズ１０９の配置間隔をｐ、被検光の波長をλ、各レンズ１０９の焦点距離をｆ、Ｎを２以上の整数とする。各レンズ１０９の周縁部１０９Ａから内側へ距離δｊ離れた位置での電場透過係数の絶対値の変化量をΔｊとする（ｊ＝２，…，Ｎ）。ｊ＝１のとき、Δ１は、各レンズ１０９の周縁部１０９Ａにおける電場透過係数の絶対値とし、δ１＝０とする。ｕｊ＝Δｊｅｘｐ（２πｉｐδｊ／λｆ）で定義されるｕｊの合計の絶対値がΔｊの合計の半分以下となるように遮光マスク１２１が形成されている。【選択図】図２ |
