发明名称 |
一种轨道开关及其制备方法与应用 |
摘要 |
本发明公开了一种轨道开关及其制备方法与应用。其由铁电层和沟道层构成,铁电层和沟道层均为过渡金属的钙钛矿氧化物,并且相互接触。轨道开关有半个原子层铁电材料和半个原子层沟道材料构成,可实现对场效应晶体管等电子元器件的原子尺度调控。同时,还提供了一种场效应晶体管,包括基片、所述轨道开关、栅极、侧电极和门电极。运用紫外曝光技术、氩离子刻蚀或湿法刻蚀和电子束蒸镀等即可制备得到。该场效应晶体管中含有铁电极化控制的轨道开关,可调节场效应晶体管中的电场强度,达到开关的作用。栅极为离子液体,介电性好,器件制备工艺简单,可重复性好。可用于信息存储和传感器件。 |
申请公布号 |
CN106469754A |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201510514698.3 |
申请日期 |
2015.08.20 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
宋成;崔彬;潘峰 |
分类号 |
H01L29/772(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/43(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/772(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
关畅;赵静 |
主权项 |
一种轨道开关,由铁电层和沟道层构成,其中,所述铁电层和沟道层均为过渡金属的钙钛矿氧化物,所述铁电层和沟道层相互接触。 |
地址 |
100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 |