| 摘要 |
투명 기판 상에 적어도 다층 반사막, 흡수막 및 레지스트막이 적층된 극자외선용 블랭크 마스크가 개시된다. 흡수막은 플래티늄(Pt), 니켈(Ni), 탄탈(Ta), 아연(Zn), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 은(Ag), 인듐(In), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir), 금(Au) 중 선택되는 1종 이상의 금속 물질을 포함하거나, 또는, 상기 금속 물질에 산소(O), 질소(N), 탄소(C), 붕소(B), 수소(H) 중 1종 이상의 경원소 물질을 더 포함하여 구성된다. 흡수막의 차광성을 확보함과 동시에 흡수막을 박막화할 수 있고, 또한 내화학성 및 내노광성을 향상시킬 수 있다. |
