| 摘要 |
本発明は、湿熱条件下での耐久性に優れ、かつ耐屈曲性に優れたガスバリア性フィルムおよびこれを用いた電子デバイスを提供することを目的とする。本発明は、基材上に、（Ａ）無機化合物を含む第一のガスバリア層、（Ｂ）塗布法により形成され、ケイ素、チタン、およびアルミニウムの少なくとも１種と、酸素原子と、炭素原子と、を含有する中間層、ならびに（Ｃ）ポリシラザンを含有する塗布液を塗布および乾燥して得られる塗膜に、エネルギーを印加して形成され、ケイ素、酸素原子、および窒素原子を含有し、厚さが８０ｎｍ以上であり、ＳｉＯｘＮｙ（ただし、０．５５＜ｘ＜２．０、０．２５＜ｙ＜０．６６）で表される組成範囲を満たす厚さ方向に連続した領域を３０ｎｍ以上有する第二のガスバリア層、をこの順に含む、ガスバリア性フィルムならびにこれを用いた電子デバイスである。 |
