发明名称 インプリント材料
摘要 【課題】フィルム基材に対して十分な密着性を有し且つ耐擦傷性に優れ、離型時においてモールドから樹脂膜を容易に剥離できるインプリント材料を提供すること。【解決手段】(A)N,N‘−ジメチルアクリルアミド等の特定のアクリルアミド類、(B)アルキレンオキサイドユニットを有しかつ重合性基を末端に2つ乃至6つ有する化合物であって、該アルキレンオキサイドユニットがエチレンオキサイドユニット、プロピレンオキサイドユニット、又はそれらの組み合わせである化合物、及び(C)光重合開始剤を含有するインプリント材料。
申请公布号 JPWO2014171302(A1) 申请公布日期 2017.02.23
申请号 JP20150512393 申请日期 2014.03.28
申请人 日産化学工業株式会社 发明人 小林 淳平;加藤 拓;鈴木 正睦
分类号 H01L21/027;B29C59/02;C08F2/46 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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