| 摘要 |
【課題】クラックラインが適切に形成されているか否かを判別する。【解決手段】脆性基板４の第１の面ＳＦ１上には、第１の面ＳＦ１上の一の位置において延在方向に延在するトレンチラインＴＬを有するスクライブラインＳＬが設けられている。脆性基板４の外部から第１の面ＳＦ１を経由して脆性基板４の第１の面ＳＦ１の一の位置の直下へレーザによる入射光ＬＩが照射される。入射光ＬＩの光軸方向は、第１の面ＳＦ１に垂直な方向を基準として、第１の面ＳＦ１上において延在方向に垂直な方向への傾斜成分を有する。クラックラインＣＬが入射光ＬＩを反射することによって、第２の面ＳＦ２へ向かう反射光ＬＲが生じる。反射光ＬＲを反射することによって、第２の面ＳＦ２から第１の面ＳＦ１を経由して脆性基板４の外へと向かう出射光ＬＯが発生させられる。出射光ＬＯの強度が測定される。【選択図】図９ |
