| 摘要 |
本発明に係るレジスト組成物は、レジスト基材を含む固形成分と溶媒とを含有するレジスト組成物である。さらに、本発明に係るレジスト組成物において、前記レジスト組成物中の固形成分が１〜８０質量％、溶媒が２０〜９９質量％の範囲であり、前記レジスト基材が所定の式（１）で表される化合物（ｃｔｔ体）と所定の式（３）で表される化合物とを含有し、前記レジスト基材に占める所定の式（１）で表される化合物（ｃｔｔ体）の割合が６５〜９９質量％であり、かつ、所定の式（１）で表される化合物（ｃｔｔ体）に対する所定の式（３）で表される化合物の質量比率が０．０１〜０．５３である。 |
