| 摘要 |
【課題】簡易な構成でかつ、製造コストを抑制することができる真空成膜装置の提供。【解決手段】真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０内において、真空チャンバ１０の中心軸線Ｏまわりに回転する、成膜対象物２を保持した複数の成膜セル３と、真空チャンバ１０の外周側に設けられ、成膜対象物２に対してプラズマ重合により成膜を行う、少なくとも１以上のプラズマ重合部５と、真空チャンバ１０の外周側に設けられ、成膜対象物に対してスパッタリングにより成膜を行う、少なくとも１以上のスパッタ部６と、プラズマ重合部５とスパッタ部６との間を仕切る仕切り壁７と、を備え、成膜セル３が、プラズマ重合部５と対面する位置にあるとき、プラズマ重合部５とともに成膜処理を行う成膜処理空間を形成するとともに、成膜処理空間において、仕切り壁７と成膜セル２との間に所定の寸法を有した間隙部８が形成される真空成膜装置１。【選択図】図２ |
